催化燃燒設備在金屬催化劑的作用下分解為CO2和H2O，這種有機廢氣處理方法的主要特點是在實際操作過程中，對預熱溫度的要求不高，VOCs行業的三廢處于無焰燃燒狀態，凈化后的環節處于無焰燃燒狀態。這樣既可以提高廢氣處理的可靠性，又可以控制VOCs行業三廢的合理濃度和熱值，從而降低廢氣處理的成本。
　　合適的廢氣濃度可以保證催化燃燒設備系統安全高 效的廢氣處理，同時有利于延長設備和催化劑的使用壽命。濃度過低：大量的能量用于加熱空氣，能耗高，反應放熱不足以維持系統的自熱燃燒，這種工況建議對廢氣進行濃縮；濃度過高：燃爆風險；溫升過高，燃燒溫度過高（長時間高于600度），對設備和催化劑都有傷害，這種工況建議加新風稀釋廢氣至爆炸下限以下。

　　催化燃燒設備可以同時或單獨進行吸附操作，將大風量低濃度有機廢氣濃縮成低濃度流量高濃度的有機廢氣。將濃縮后的高濃度氣體接入再生催化燃燒設備進行氧化處理(高溫剝離燃燒)，即將再生活性炭作為吸附材料，恢復其吸附能力。再生不能同時進行，只能有一個吸附器同時進行脫附。該處理工藝可廣泛用于凈化石油、化工、橡膠、油漆、涂料、家具、家電、印刷等行業產生的低濃度有機廢氣，可處理的有機物種類包括苯、酮、醇、醚、烷烴等。